搭建OPC UA C#服务器需要遵循以下步骤：
安装OPC UA库：首先需要下载并安装OPC UA库，比如OPC Foundation提供的开源OPC UA库UA-.NETStandard。可以通过Nuget包管理器安装该库。
创建OPC UA服务器：在C#项目中创建一个OPC UA服务器。可以继承自Opc.Ua.Server.StandardServer类，实现自定义的服务器逻辑。
配置服务器参数：在服务器创建时设置服务器的参数，比如端口号、安全策略、证书等。
添加变量和节点：在服务器中添加需要暴露的变量和节点，可以通过定义Node对象来实现。
启动服务器：在服务器代码中调用Start()方法启动服务器，开始监听客户端请求。
处理客户端请求：实现服务器端逻辑，处理客户端的读取、写入、订阅等请求。
关闭服务器：在应用程序退出时调用Stop()方法关闭服务器。
通过以上步骤，就可以搭建一个基本的OPC UA C#服务器。不过在实际项目中，可能还需要考虑安全性、性能优化等方面的问题。建议在开发过程中参考OPC UA规范和相关文档，以确保服务器的稳定性和可靠性。