在处理大数据时，C#中的ToArray方法性能通常比较高效。ToArray方法将集合转换为数组，因此在处理大数据时，可以避免频繁的内存分配和释放，提高程序的性能。
然而，在处理大量数据时，需要注意内存的使用情况。如果数据量非常大，可能会导致内存不足或性能下降的问题。因此，在处理大数据时，建议使用适当的内存管理技术，如分批处理数据或使用流式处理等方法，以确保程序的性能和稳定性。